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| 耦合等离子反应器专题资料光盘 |
| 时间:2010-1-2,点击:0 |
光盘编号:867701 《耦合等离子反应器专题资料光盘》包括专利技术全文资料12份。整套光盘收费200元,全国范围内可免费货到付款。请选择订购方式: (1)在线订购>>点击此处 客服qq: 78865105 (2) 电话订购 0755-33090789-1(分机) 13322986951/13322986751(周一至周六18:00以后,周日及法定节假日全天) (3) 传真订购 0755-33090989-9(分机)
技术编号 技术名称 (867701-0012) 用于调整电容耦合rf等离子体反应器中的电极空隙的装置 (867701-0011) 容性耦合等离子体反应器 (867701-0010) 消除感应耦合等离子体反应器中m形状蚀刻率分布的方法 (867701-0009) 感应耦合等离子体反应器 (867701-0008) 结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器 (867701-0007) 适于大面积衬底的电容性耦合rf等离子体反应器的阻抗匹配 (867701-0006) 小型电容耦合等离子反应器 生成器及方法 (867701-0005) 小型电容耦合等离子反应器 生成器及方法 (867701-0004) 具有均匀轴向分布的等离子体的电容耦合等离子体反应器 (867701-0003) 磁等离子体控制电容耦合等离子体反应器 (867701-0002) 用于制造纳米粉末的感应耦合等离子反应器 (867701-0001) 高效小型电容耦合等离子反应器 生成器及方法
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